Filter Segel C Pemasangan Permukaan IGS Kinerja Tinggi pikeun Sistem Pangiriman Gas Semikonduktor

Pedaran Singkat:

Mérek:HENGKO

Ngaran Saringan:Saringan C-Seal Pemasangan Permukaan IGS

Bahan:SS 316L

Laju aliran:10 ~ 120 SLPM

Suhu operasi maks.:460°C

Ukuran panyabutan partikel:> 0,003 μm

Kirim email ka kami Balik deui ka Sub-Kategori

Rincian Produk

Tag Produk

Pedaran

Saringan Pemasangan Permukaan HENGKO dirancang pikeun minuhan sarat anu nungtut tina sistem gas terpadu anu dianggo dina alat OEM semikonduktor. Nawiskeun filtrasi anu unggul dina industri dina 0,003 µm, saringan ieu mastikeun kinerja sareng reliabilitas anu luar biasa kalayan efisiensi intersepsi partikel ≥99,9999999% (9-LRV) dina 120 slpm.

Didamel tina bubuk baja tahan karat 316L anu kuat anu disinter pikeun élémen sareng wadah saringan, saringan ieu saluyu sareng spésifikasi SEMI F86-0304, anu nampilkeun komponén dua port anu disaluyukeun pikeun sistem distribusi gas 1,125” kalayan konfigurasi C-seal. Éta ngadukung tekanan asupan maksimum 3,4 MPa dina 100°C sareng diferensial tekanan operasi maksimum 0,69 MPa dina 100°C.

Saringan khusus ieu, cocog sareng spésifikasi segel tipe-C sareng tipe-W, ngahontal kabersihan hilir kalayan pelepasan partikel

Kalayan lapisan Ra< 1,6 µm di luar sareng Ra< 0,13 µm dina interiorna, saringan ieu dirancang pikeun tahan suhu anu luhur dugi ka 460°C. Dirancang pikeun integrasi anu gampang sareng pamutahiran desain modular, saringan ieu ngagampangkeun pamasangan sareng pangropéa, ngabantosan ngaoptimalkeun kinerja sistem dina pangiriman gas semikonduktor sareng aplikasi kontrol.

Fitur Produk

▶ Konstruksi baja tahan karat 316L sacara gembleng
▶ Desain miniatur, struktur kompak, hemat rohangan
▶ Karakteristik panggantian gas sareng desorpsi anu saé pisan
▶ Tahan suhu luhur, tekanan luhur, sareng korosi
▶ Wadah baja tahan karat 316L anu dipoles éléktro
▶ Pamasangan sareng pangropéa anu gampang sareng efisien
▶ Segel mékanis, sacara struktural henteu dilas kana média

Filter Segel C Pemasangan Permukaan IGS Kinerja Tinggi pikeun Sistem Pangiriman Gas Semikonduktor

Lembar data

Parameter Téknis	Nilai-nilai
Bahan Élémen Saringan	Bubuk Sinter Baja Tahan Karat 316L
Bahan Perumahan	Baja Tahan Karat 316L
Tekanan Asupan Maksimum	3.4 MPa @ 100°C
Diferensial Operasi Maksimum	0,69 MPa @ 100°C
Laju Kebocoran Verifikasi Hélium	1x10⁻¹¹ cc/mnt
Laju Kebocoran Tés Hélium	1x10⁻⁹ cc/mnt
Perawatan Permukaan	Beungeut Luar Ra< 1,6 μm
	Beungeut Jero Ra< 0,13 μm
Suhu Operasi Maksimum	460°C
Efisiensi Intersepsi Partikel	≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (MPPS Réferénsi, sadaya partikel)
Kabersihan Hilir	Pelepasan Partikel:< 0,03 partikel/liter (< 1 partikel/ft³)
	Volatil:< 10 ppb Uap cai
Ukuran Intersepsi Partikel	≥0,003 μm
Rentang Aliran	0 ~ 120 slpm